(相关资料图)
最近这段时间总有小伙伴问小编氦气检漏仪的工作原理是什么，小编为此在网上搜寻了一些有关于氦气检漏仪的工作原理的知识送给大家，希望能解答各位小伙伴的疑惑。
氦气检漏仪的工作原理
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.
离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子.
分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同；
在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙；打在收集器上.
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置.
责任编辑：QL0009
